增芯首批产品良率99.7%！省市新政加持增城打造千亿级产业集群

“今年6月28日启动通线投产以来，设备调试、良率提升等各项工作进展顺利；8月10日首批产品下线良率99.7%，已通过168小时高温可靠性测试，满足量产标准。” 9月29日，广州市智能传感器高质量发展主题新闻发布会上，广州增芯科技有限公司董事长陈晓飞介绍了最新进展。

增芯在广州东部中心已建成国内第一条12英寸智能传感器及特色工艺晶圆制造产线，规划月产能2万片。截至目前，增芯科技已下线1000片晶圆，正在进行1000小时可靠性测试。下一步，增芯将正式量产，预计2024年产品按客户订单下线10000片。

当天发布会上，增芯所在的广州市增城区迎来多项省市重磅政策加持——

《广州（增城）智能传感器产业园发展规划（2024-2035）》（下称《发展规划》）正式发布。据此，广州（增城）智能传感器产业园将聚焦MEMS特色工艺核心优势，着力打造产业生态齐全、集聚效应明显、产业能级高端的大湾区智能传感器产业集聚区。

此外，《关于支持广州市智能传感器产业高质量发展的若干措施》《广州市推动物联网产业高质量发展行动计划（2024-2028年）》等新近政策，均有对增城区相关产业规划、布局、发展的利好与指引。

增芯科技

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芯片“增城造”起笔不凡

近年，增芯科技将基于55-130nm制程，建设三大产品和工艺平台，实现“10月首批MEMS智能传感器产品下线，全年下线产品1万片”的战略目标。具体包括：

——MEMS智能传感器平台，规划月产能1.2万片。压力传感器产线设备正在安装调试阶段和短流程结构器件测试中，计划四季度通线；

——模拟芯片平台，规划月产能5000片。模拟平台和MEMS平台产能80%公用设备可共享及转换，目前已完成装机产能5000片/月；

——ASIC模数芯片，包括HV和55logic两个工艺平台，已经投入短流程研发，目前装机产能3000片/月，计划年底完成全部设备安装调试。

2025年，增芯的工作重心在于产能爬坡、质量控制和产品交付、市场开拓，计划2025年底达成月产2万片目标。

增芯产线的利好频传，让“湾区制造”为之振奋。

智能传感器产业对于广东省，广州市，增城区产业有着重要支撑作用。在电子信息、汽车、家电、安防和建筑智能等产业，智能传感器作为“连接物理世界和数字世界的桥梁”有着不可替代的位置。

陈晓飞表示，国内的智能传感器产业，尤其是基于硅工艺的 MEMS智能传感器产业，还面临着来自技术、生态和产业的众多挑战，其中包括：微机电传感器（MEMS）技术多样性的挑战、专用数字电路（ASIC）的定制挑战：晶圆加工和封装测试企业降低制造成本的挑战；以及领军企业 IDM 模式的纵向技术集成造成中小企业创新门槛过高的挑战等。上述挑战导致创新型智能传感器中小企业的研发制造成本、开发周期和效率等方面不具备比较优势，在客户资源，代工资源和开源共性技术等多个方面处于尴尬的境地，客观上阻碍了智能传感器技术创新和推广。

为迎接上述挑战，广州市增城区进行了前瞻性布局和核心能力建设，初步完成了从晶圆制造（增芯科技）到芯片封装（越海集成）到工艺开发和生态建设（广东工研院）在内的智能传感器基础制造能力建设。

“增城交通区位优越，产业发展空间大，产业配套也比较完善，近年来引进了增芯、越海、中微、安信芯等一批智能传感器上下游产业链项目，具备很好的产业基础，所以我们将智能传感器产业作为增城的主导产业。”发布会上，增城区有关负责人谈到。

当前，增芯科技第一期完成投资70亿元，预计今年年底前完成的一万片客户订单下线中，12英寸压力传感器是主力产品。越海集成项目2024年8月份已实现5000片/月（八英寸）的第一期产能目标和出货目标，预计2024年年底实现8000片/月（8英寸+12英寸）的产能目标。

“增城芯”服务“湾区造”，起笔已是不凡。

产业载体迸发新质生产力

增城区智能传感器产业是特色工艺集成电路的重要支撑，是广东建设集成电路第三极的重要支点。当前，广州（增城）智能传感器产业园（下称“园区”）正在边规划边建设。

依据《发展规划》，到2030年，园区将实现智能传感器“研发设计-材料装备-生产制造-封装测试-终端应用”全产业链条集聚，累计集聚重点企业100家，规划智能传感器产业规模超600亿元；到2035年，园区智能传感器达到500家，形成千亿级智能传感器产业集群。

园区规划总面积约5.6平方公里，以制造为核心，以应用为牵引，建设成辐射粤港澳大湾区的智能传感器终端应用圈，包括开发区核心区组团、电子材料组团、科教城组团、公铁联运组团四个组团，共同构成“一核一圈四组团”智能传感器产业发展格局，为东部中心现代产业体系提供重要支撑。由此壮大的智能传感器产业，将通过广深港澳科技创新走廊向西联动黄埔，向南联动深莞，辐射粤港澳大湾区。

“近年来，我们为了把园区规划好建设好，大力开展基础设施建设和招商引资工作，目前已引进产业项目21个、总投资681亿元，预计年产值/营收超400亿元。”增城区有关负责人表示，“接下来，我们将聚焦智能传感器产业发展，加快引进全产业链项目。”

随着《发展规划》发布，园区的产业布局更加明晰——

生产制造端，以增芯项目为龙头；装备制造端，依托中微广州、智达星空、仕上科技等装备生产企业，打造大湾区高端半导体装备生产基地；创新平台端，以广东工研院、工信部电子五所、金鉴实验室等研发中试、检测验证平台为核心，打造高能级创新研发机构；封装测试端，以广东越海、安信芯等项目为龙头，承接粤港澳大湾区先进封测业务；材料供应端，依托广州增城高端电子信息新材料产业园，导入国际国内一流电子特气、湿电子化学品等材料企业，解决大湾区电子化学品“战略仓储”和“卡脖子”问题；芯片设计端，积极吸引国内领先半导体设计龙头企业落户；终端应用端，推动广本、希音、海格等应用端企业与智能传感器制造企业实现协同发展，构建产业链协作生态圈。

作为广东省智能传感器产业链链长单位，增芯看好把大湾区智能传感器产业建设成为千亿级别的“新质生产力”的载体。“这仍需要政府、企业、研发机构和用户长期的卓有成效的努力，需要政策、人才、技术、资本、园区等各方面创新要素和产业资源持续不断的投入。”陈晓飞说。

南方+记者 李鹏程